SK 하이닉스도 국산 불화수소 투입...일본산 기체 불화수소도 수입
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SK 하이닉스도 국산 불화수소 투입...일본산 기체 불화수소도 수입
  • 이신형 기자
  • 승인 2019.10.02 14:15
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(사진: 배포자료)
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삼성전자에 이어 SK하이닉스도 반도체 생산공정에 일본산을 대체하는 한국산 고순도 액체 불화수소를 투입했다.
 
SK하이닉스 관계자는 2일 Asia Times와의 전화통화에서 “한국산 제품에 대한 테스트를 마치고 10월 1일부로 일부 공정에 액체 불화수소를 투입하기 시작했다”고 말했다.
 
SK하이닉스는 또 최근 일본의 반도체 소재 수출 규제가 강화된 후 처음으로 기체 불화수소 수입 허가를 받았다고 한 업계 관계자가 전했다.
 
불화수소는 반도체와 디스플레이 패널의 세정이나 회로를 제외한 불필요한 부분을 깎아내는 식각용으로 사용된다. 액체와 기체가 있는데 SK하이닉스와 삼성전자가 공정에 투입한 한국산 제품은 액체 불화수소다.
 
업계의 관계자는 “한국산 소재가 사용되고 일본산 소재도 수입이 계속되고 있어 당초 우려와 달리 반도체 생산 차질이 발생할 가능성은 크지 않다”고 말했다.
 
삼성전자와 하이닉스는 일본의 수출 규제 강화 조치 후 원산지를 불문하고 모든 불화수소 제품을 테스트해 왔다.
 
다른 업계 관계자는 지난달 ”불화수소에 대한 걱정이 많은데 사실 어떤 제품이든 사용할 수 있다. 다만 공정을 파인튜닝해야 하고 새로운 제품을 사용할 때 일시적으로 수율 저하 등의 문제가 발생할 수 있어 기존 제품을 계속 사용했을 뿐“이라고 말했다.
 
디스플레이 업계에서도 일본산 불화수소를 대체할 한국산 불화수소가 공정에 사용되고 있다. 디스플레이 생산에서 불화수소는 주로 세정용으로 사용되고, 소량이 식각용으로도 사용된다. 디스플레이 식각용 불화수소도 반도체 식각용과 마찬가지로 초고순도를 요구하나 사용량이 많지 않다고 업계 관계자들은 전했다.
 
일본 정부는 3개 반도체와 디스플레이 핵심 소재에 대한 수출 규제를 강화한 데 이어 한국을 수출 우대 백색국가에서 제외했다.
 
일본 정부는 특히 OLED 패널 등의 필름 재료로 쓰이는 플루오린 폴리이미드와 고순도 불화수소, 반도체 EUV 공정용 포토레지스트를 한국에 수출할 때 한국에 수출할 때 매 건당 최대 90일이 걸리는 심사와 허가를 받도록 했다.
 
포토레지스트의 경우 D램용은 강화된 수출 규제 대상이 아니다. 극자외선(Extreme Ultra Violet: EUV) 공정에 사용되는 제품에 대한 수출 규제만 강화됐다. EUV 공정은 회로선폭을 미세화하는 공정기술로 이 기술을 사용해 7나노급 이하의 반도체를 생산하는 업체는 삼성전자와 대만의 TSMC뿐이다. 삼성전자는 비메모리 반도체를 위탁 생산하는 파운드리 사업용으로 EUV 공정을 사용하고 있다.
    
일본은 규제 강화 후 한국에 대한 EUV용 포토레지스트와 불화수소 수출을 몇 차례 허가한 바 있다. 삼성전자는 일본 JSR이 벨기에에 세운 합작법인을 통해서도 EUV용 포토레지스트 수입 물량을 확보하는 한편, 한국산 D램용과 EUV용 포토레지스트에 대한 테스트도 진행하고 있다.
 
전문가들은 일본 정부가 반도체 핵심 소재에 대한 수출 허가를 내주고 있으나, 반도체 업계의 국산화를 포함한 부품과 소재 공급망 다변화 노력은 계속될 것으로 전망하고 있다. 


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